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Nitruro de aluminio: el "cambio de juego" en la industria de los semiconductores

2026-10-09

Estructura y propiedades

El nitruro de aluminio (AlN) es un cristal dominado por enlaces covalentes, un nitruro hexagonal similar a un diamante.que lo clasifica como semiconductor de banda directaSu estructura cristalina se asemeja a la de BeO y SiC. Debido a la naturaleza altamente direccional de sus enlaces covalentes,AlN ofrece propiedades físicas y químicas excepcionales, como una alta conductividad térmica.

Método CVD para el nitruro de aluminio en polvo

La deposición química por vapor (CVD) es una vía eficaz para producir polvo de AlN con tamaño de partícula uniforme, alta pureza y gran superficie específica.Se introducen compuestos volátiles de origen de aluminio (halogenuros de aluminio o alquilaluminio) y amoníaco (NH3) en la cámara de reacción para reaccionarDurante la reacción, el NH3 se descompone para suministrar átomos de nitrógeno activo, y se forma polvo de AlN a través de la deposición en fase gaseosa.

Las ventajas de este método incluyen la alta pureza del producto y el tamaño de las partículas finas.El alquilaluminio es costoso y requiere almacenamiento y transporte especiales bajo protección de gas inerte.Por consiguiente, este proceso se mantiene principalmente en la fase de investigación de laboratorio y aún no se ha industrializado a gran escala.

Aplicaciones del nitruro de aluminio en la industria de semiconductores

Substrato de embalaje electrónico
Componentes de equipos de semiconductores
Materiales para sustratos de semiconductores
Materiales de película delgada de nitruro de aluminio

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