Temperatura de trabajo máxima ((°C): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Max. Temperatura de trabajo.: 1800℃
Presión de Max.working: 9.8bar
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Workingspace: 12-1000L
La presión de trabajo máxima (MPA): 1、2、6、10、20
Detalles de empaquetado: Cajas de madera
Tiempo de entrega: 5-6 meses
Temperatura máxima de trabajo: 2400℃
Uniformidad de la temperatura: ≤±5℃
Max.Temperatura de trabajo: 2400℃
Uniformidad de la temperatura: ≤±10℃
Max.Temperatura de trabajo: 1300°C
Temperatura de funcionamiento: 1200℃
Max.Temperatura de trabajo: 2500℃
Uniformidad de la temperatura: ≤±5℃
Max. Temperatura de trabajo.: 1600℃
Temperatura de trabajo: 1550℃
Max.Temperatura de trabajo: 1800℃
Uniformidad de la temperatura: ≤±5℃
Espacio de trabajo: 400*400*1200mm, o personalizado según las necesidades del cliente
Presión de trabajo: Barra 60
Temperatura de trabajo máxima ((°C): 1200
Uniformidad de la temperatura ((°C): ≤ ± 3
Presión de trabajo máxima (MPa): 1 a 10
Max.Temperatura de trabajo: 2000
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