Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Precursores y gases de proceso: El uso de las sustancias químicas en el tratamiento de las sustancias químicas no incluye el uso de
Substratos de recubrimiento: El metal, la cerámica, el vidrio, etc.
Método de recubrimiento: Deposición química de vapor (CVD)
Potencia total: Aproximadamente 40/50/60/80KW
Precursores y gases de proceso: El uso de las sustancias químicas en el tratamiento de las sustancias químicas no incluye el uso de
Tamaño del equipo de recubrimiento: Personalizable
Potencia total: Aproximadamente 40/50/60/80KW
Substratos de recubrimiento: El metal, la cerámica, el vidrio, etc.
Substratos de recubrimiento: El metal, la cerámica, el vidrio, etc.
Adhesión del revestimiento: Es fuerte.
Temperatura del proceso (°C): 700 a 1050 años
Precursores y gases de proceso: El uso de las sustancias enumeradas en el anexo I del Reglamento (CE) n.o 1907/2006 debe tener en cu
Temperatura del proceso (°C): 700 a 1050 años
Precursores y gases de proceso: El uso de las sustancias enumeradas en el anexo I del Reglamento (CE) n.o 1907/2006 debe tener en cu
Temperatura del proceso (°C): 700 a 1050 años
Precursores y gases de proceso: El uso de las sustancias enumeradas en el anexo I del Reglamento (CE) n.o 1907/2006 debe tener en cu
Temperatura del proceso (°C): 700 a 1050 años
Precursores y gases de proceso: El uso de las sustancias enumeradas en el anexo I del Reglamento (CE) n.o 1907/2006 debe tener en cu
Temperatura del proceso (°C): 700 a 1050 años
Tipos de recubrimiento: Se aplican las siguientes medidas:
Temperatura del proceso (°C): 700 a 1050 años
Tipos de recubrimiento: Se aplican las siguientes medidas:
Temperatura del proceso (°C): 700 a 1050 años
Tipos de recubrimiento: Se aplican las siguientes medidas:
Temperatura de trabajo máxima ((°C): 1300
Uniformidad de la temperatura ((°C): ≤ ± 7
Espacio efectivo en mm: 1000*1000*1500
Potencia de calefacción (KVA): 300
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