Horno de recubrimiento CVD de carburo de silicio para el susceptor de grafito o el anillo de grabado

Horno de recubrimiento CVD de carburo de silicio para el susceptor de grafito o el anillo de grabado

Este equipo se utiliza para la deposición de carburo de silicio en la superficie de material a base de carbono/cerámica, especialmente para el susceptor de semiconductores y el anillo de grabado.

Susceptor de grafito, un disco de grafito de alta pureza, con una ranura circular para fijar el sustrato de la oblea. Después de colocarlos en el horno,una capa de película de cristal crecerá en la superficie del sustrato, que es la capa epitaxial.

Los procesos de obleas como la litografía y la implantación de iones se llevan a cabo en la capa epitaxial.La base epitaxial hecha de grafito obviamente no puede cumplir con los requisitos de ultra-alta limpieza en el proceso de semiconductores.

Por esta razón, necesitamos utilizar la deposición de vapor químico en la base para envolver una capa de película densa de carburo de silicio.

• Normas de diseño

El equipo está diseñado de acuerdo con los requisitos de los recipientes a presión de la Oficina de Supervisión Técnica y de Calidad, y está calificado después de los ensayos a presión y enviado.El diseño y la construcción eléctrica cumplen con las normas nacionales.

• Prueba previa a la instalación y aceptación previa

El equipo está completamente ensamblado en nuestra fábrica, incluyendo todas las tuberías, tuberías de vacío, tuberías de gas de proceso, tuberías de agua de enfriamiento, tuberías de aire comprimido, etc.Los ensayos previos pueden realizarse después de la instalaciónEn el emplazamiento del cliente, las tuberías que no son el equipo son proporcionadas por el cliente.el cable principal que conecta el gabinete eléctrico es proporcionado por el clienteDespués de la instalación, realizamos pruebas de vacío y de presión positiva en todo el equipo, así como pruebas de función mecánica y eléctrica.

• Desmontaje y transporte

El equipo será desmontado en varias partes grandes, empaquetado de manera estandarizada y cargado en el vehículo de transporte.

• Instalación y puesta en marcha del sitio del cliente

El ingeniero postventa de Redel dirigirá al equipo para completar la puesta en marcha, la quema de pruebas de productos y otros trabajos dentro de los 20 días hábiles.El cliente debe hacer los preparativos adecuados y proporcionar las herramientas necesarias, tales como equipos de elevación y elevación. y proporcionar apoyo al personal de instalación (se recomienda contar con 1 personal mecánico y 1 personal eléctrico).

• Aceptación final

Después de la instalación y puesta en marcha, el equipo podrá ser finalmente aceptado de conformidad con los requisitos del contrato técnico.

• Formación

Nuestros ingenieros postventa proporcionarán una formación sistemática y completa en el sitio, incluyendo operación, mantenimiento, solución de problemas, etc.

• Entrega de datos técnicos

Para garantizar una operación y un mantenimiento seguros de los equipos, se facilitarán a los clientes los siguientes datos técnicos:

1- Diseño de la instalación del equipo

2. Manual del usuario

3. Lista de piezas de repuesto

4Dibujos eléctricos

5. Manual del componente