Horno de crecimiento de epitaxia para el carburo de silicio (CVD SIC) HTCVD

Este equipo se utiliza para el recubrimiento de carburo de silicio de materiales a base de carbono/cerámica,especialmente la deposición de carburo de silicio en la superficie del susceptor epitaxial del semiconductor y el anillo de grabado.

Base epitaxial, un disco de grafito de alta pureza, con una ranura circular para fijar el sustrato de la oblea.Después de colocarlos en el horno, una capa de película cristalina crecerá en la superficie del sustrato, que es la capa epitaxial.Los procesos de obleas como la litografía y la implantación de iones se llevan a cabo en la capa epitaxial.

La base epitaxial hecha de grafito obviamente no puede cumplir con los requisitos de limpieza ultra elevados en el proceso de semiconductores.Por esta razón, necesitamos usar deposición de vapor químico en la base para envolver una capa de película densa de carburo de silicio.

Configuración opcional

1. Puerta del horno: tipo de elevación de tornillo/hidráulico/manual; apertura de oscilación/apertura paralela ((puerta del horno de gran tamaño); cerradura manual/cerradura automática
2. recipiente de horno: todo acero al carbono/capa interior de acero inoxidable/todo acero inoxidable
3Zona caliente del horno: fieltro de carbono blando/fieltro de grafito blando/fieltro de compuestos rígidos/CFC
4. elemento de calefacción y muffle: grafito de prensa isostática/grafito de alta pureza, resistencia y densidad/grafito de tamaño fino
5- Sistema de gas de proceso: medidor de caudal de volumen/masa;
6. Termócouple: tipo K/tipo N/tipo C/tipo S

• Normas de diseño

El equipo está diseñado de acuerdo con los requisitos de los recipientes a presión de la Oficina de Supervisión Técnica y de Calidad, y está calificado después de los ensayos de presión y enviado.El diseño y la construcción eléctrica cumplen con las normas nacionales.

• Prueba previa a la instalación y aceptación previa

El equipo está completamente ensamblado en nuestra fábrica, incluyendo todas las tuberías, tuberías de vacío, tuberías de gas de proceso, tuberías de agua de enfriamiento, tuberías de aire comprimido, etc.Los ensayos previos pueden realizarse después de la instalaciónEn el emplazamiento del cliente, las tuberías que no sean el equipo son proporcionadas por el cliente.el cable principal que conecta el gabinete eléctrico es proporcionado por el clienteDespués de la instalación, realizamos pruebas de vacío y de presión positiva en todo el equipo, así como pruebas de función mecánica y eléctrica.

• Desmontaje y transporte

El equipo será desmontado en varias partes grandes, empaquetado de manera estandarizada y cargado en el vehículo de transporte.

• Instalación y puesta en marcha del sitio del cliente

El ingeniero postventa de Redel dirigirá al equipo para completar la puesta en marcha, la quema de pruebas de productos y otros trabajos dentro de los 20 días hábiles.El cliente debe hacer los preparativos adecuados y proporcionar las herramientas necesarias, como equipos de elevación y elevación, y proporcionar apoyo al personal de instalación (se recomienda contar con 1 personal mecánico y 1 personal eléctrico).

• Aceptación final
Después de la instalación y puesta en marcha, el equipo podrá ser finalmente aceptado de conformidad con los requisitos del contrato técnico.

• Formación
Nuestros ingenieros postventa proporcionarán una formación sistemática y completa en el sitio, incluyendo operación, mantenimiento, solución de problemas, etc.

• Entrega de datos técnicos

Para garantizar una operación y un mantenimiento seguros de los equipos, se facilitarán a los clientes los siguientes datos técnicos:

1- Diseño de la instalación del equipo
2. Manual del usuario
3. Lista de piezas de repuesto
4Dibujos eléctricos
5. Manual del componente

Preguntas frecuentes

¿Es usted una fábrica o una empresa comercial?

P: ¿Es usted una fábrica o una empresa comercial?
R: Somos el principal fabricante de hornos de vacío de alta temperatura de China con más de 10 años de experiencia.

¿Tiene un servicio de personalización o OEM?

P: ¿Tiene servicio de personalización o OEM?
R: Sí, tenemos un poderoso equipo de I+D y equipos de alta tecnología. Por lo tanto, no sólo podemos suministrar el modelo regular, sino también el horno personalizable como reposición de nuestros clientes.

¿Cuál es tu ventaja?

P: ¿Cuál es su ventaja?
A: ¿Qué quieres decir?

Respuesta rápida a su consulta

L Control de calidad elevado

L Cadena de suministro estable

L Entrega oportuna

Un excelente servicio postventa