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HTCVD CVD de carburo de silicio SIC horno de crecimiento epitaxi zonas de control de temperatura múltiples

HTCVD CVD de carburo de silicio SIC horno de crecimiento epitaxi zonas de control de temperatura múltiples

Horno de crecimiento de epitaxia HTCVD

Horno de CVD de carburo de silicio

CVD SIC Horno de crecimiento epitaxi

Lugar de origen:

China.

Nombre de la marca:

Ruideer

Certificación:

CE

Número de modelo:

Personalizable

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Detalles del producto
Espacio efectivo en mm:
1000*1000*1500
Potencia de calefacción (KVA):
300
Max. Tapeo.:
1500℃
Uniformidad de la temperatura:
≤ ± 7°C
El último vacío:
10pa
gases de proceso:
MTS、Ar、H2
Condiciones de pago y envío
Cantidad de orden mínima
1 juego
Precio
Negociable
Detalles de empaquetado
Cajas de madera
Tiempo de entrega
5-6 meses
Condiciones de pago
L/C, T/T
Capacidad de la fuente
Entre 5 y 6 meses/conjunto
Descripción del producto

Horno de crecimiento de epitaxia para el carburo de silicio (CVD SIC) HTCVD

Este equipo se utiliza para el recubrimiento de carburo de silicio de materiales a base de carbono/cerámica,especialmente la deposición de carburo de silicio en la superficie del susceptor epitaxial del semiconductor y el anillo de grabado.

La tasa de recubrimiento es un indicador muy importante para los clientes intermedios, que está directamente relacionado con la capacidad de producción de los equipos.Nuestro equipo puede alcanzar una velocidad de deposición de 50 micrones por hora, y también puede estar equipado con enfriamiento rápido, lo que reduce en gran medida el tiempo de producción.

Características técnicas

1. el uso de múltiples zonas de control de temperatura, gran uniformidad de temperatura;

2. cámara de deposición especialmente diseñada con buen efecto de sellado y gran rendimiento anticontaminación;

3. Utilizando múltiples canales de deposición con flujo de gas uniforme, sin esquina muerta de deposición y superficie de deposición perfecta;

4Tiene tratamiento para el alquitrán, polvo sólido y gases orgánicos durante el proceso de deposición


• Normas de diseño

El equipo está diseñado de acuerdo con los requisitos de los recipientes a presión de la Oficina de Supervisión Técnica y de Calidad, y está calificado después de los ensayos de presión y enviado.El diseño y la construcción eléctrica cumplen con las normas nacionales.

• Prueba previa a la instalación y aceptación previa

El equipo está completamente ensamblado en nuestra fábrica, incluyendo todas las tuberías, tuberías de vacío, tuberías de gas de proceso, tuberías de agua de enfriamiento, tuberías de aire comprimido, etc.Los ensayos previos pueden realizarse después de la instalaciónEn el emplazamiento del cliente, las tuberías que no sean el equipo son proporcionadas por el cliente.el cable principal que conecta el gabinete eléctrico es proporcionado por el clienteDespués de la instalación, realizamos pruebas de vacío y de presión positiva en todo el equipo, así como pruebas de función mecánica y eléctrica.

• Desmontaje y transporte

El equipo será desmontado en varias partes grandes, empaquetado de manera estandarizada y cargado en el vehículo de transporte.

• Instalación y puesta en marcha del sitio del cliente

El ingeniero postventa de Redel dirigirá al equipo para completar la puesta en marcha, la quema de pruebas de productos y otros trabajos dentro de los 20 días hábiles.El cliente debe hacer los preparativos adecuados y proporcionar las herramientas necesarias, como equipos de elevación y elevación, y proporcionar apoyo al personal de instalación (se recomienda contar con 1 personal mecánico y 1 personal eléctrico).

• Aceptación final
Después de la instalación y puesta en marcha, el equipo podrá ser finalmente aceptado de conformidad con los requisitos del contrato técnico.

• Formación
Nuestros ingenieros postventa proporcionarán una formación sistemática y completa en el sitio, incluyendo operación, mantenimiento, solución de problemas, etc.

• Entrega de datos técnicos

Para garantizar una operación y un mantenimiento seguros de los equipos, se facilitarán a los clientes los siguientes datos técnicos:

1- Diseño de la instalación del equipo
2. Manual del usuario
3. Lista de piezas de repuesto
4Dibujos eléctricos
5. Manual del componente

Preguntas frecuentes

¿Es usted una fábrica o una empresa comercial?

P: ¿Es usted una fábrica o una empresa comercial?
R: Somos el principal fabricante de hornos de vacío de alta temperatura de China con más de 10 años de experiencia.

¿Tiene un servicio de personalización o OEM?

P: ¿Tiene servicio de personalización o OEM?
R: Sí, tenemos un poderoso equipo de I+D y equipos de alta tecnología. Por lo tanto, no sólo podemos suministrar el modelo regular, sino también el horno personalizable como reposición de nuestros clientes.

¿Cuál es tu ventaja?

P: ¿Cuál es su ventaja?
A: ¿Qué quieres decir?

Respuesta rápida a su consulta

L Control de calidad elevado

L Cadena de suministro estable

L Entrega oportuna

Un excelente servicio postventa


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